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石英爐管如何制作的呢?

2021-01-27 17:30:51

石英爐管現有常壓分散爐進氣方法為爐尾進氣,通過尾氣管從爐口出氣,在爐內形成氣體流場,石英儀器加工廠家通過磷源摻雜在高溫環境下對硅片外表進行分散。隨著太陽能電池工藝的優化,現有常壓分散爐很難滿足高性能電池片對技能的發展需求。

尤其是當硅片外表方塊電阻增大至110Ω/□以上時,常壓分散爐的均勻性會變得較差?,F有進氣方法氣體流場不均勻,摻雜原子在反響室內散布不均勻,爐尾氣體濃度偏高,爐口氣體濃度偏低,簡單形成爐口分散方阻偏高,爐尾分散方阻偏低,需求調整溫度進行補償。

因熱場與氣流散布不均也導致了分散后硅片片內與片間的均勻性相對較差。并且,現有分散爐管與爐門間密合度一般,受爐門密封的影響,爐口簡單漏氣,擾亂了爐內氣流,簡單導致爐口分散方阻偏高或分散方阻均勻性較差。

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本實用新型要解決的技能問題是:為了戰勝現有技能中現有的石英爐管進氣方法氣體流場不均勻,摻雜原子在反響室內散布不均勻,簡單形成爐口分散方阻偏高,爐尾分散方阻偏低,因熱場與氣流散布不均也導致了分散后硅片片內與片間的均勻性相對較差,分散爐管與爐門間密合度一般,爐口簡單漏氣,擾亂了爐內氣流,簡單導致爐口分散方阻偏高或分散方阻均勻性較差的問題,提供一種分散爐用石英爐管。

以上是小編給大家講述的石英爐管如何制作的,大家可以了解看看。


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